不論是工業(yè)化生產亦或是人們的生活，全部活動機器都是會因遭受驅動力而震動。震動會傳送到機器的支撐架并且通過支撐架傳送到機器自身及其機器的配件上。震動會導致全部受此影響一個物體疲憊。與此同時，震動也使得噪聲大大的提升，特別是在是是非非路面安裝震動機器設備,如裝到樓房里的機器。而SSB260/20T型投影光刻機被動式空氣彈簧超過大多數(shù)別的方式的減震器，能降低99百分比的震動疲憊。
被動式空氣彈簧一般由制動氣室、橡膠彈性隔膜和承重板組成。它是一個具有內部結構的密封容器。使用空氣可以改變抗震目的。被動式空氣彈簧的固有頻率相對較低(2).6~5.3Hz)，阻尼系數(shù)(0)相對較高.06~0.08)可以獲得較高的抗震效率。投影光刻機被動式空氣彈簧具有剛度變化的特點，因此在地震設備設計中不需要考慮機械設備的重點。承載力大，本身總重比較輕。與其它減震器對比，投影光刻機被動式空氣彈簧具備品質小、舒適度好、耐疲憊、堅固耐用等特點，它并且具有避震和消聲功效。這使得其可廣泛運用與許多環(huán)境里并充分發(fā)揮關鍵作用。